[实用新型]用于晶体生长的隔热装置无效
申请号: | 201020520594.6 | 申请日: | 2010-09-06 |
公开(公告)号: | CN201793804U | 公开(公告)日: | 2011-04-13 |
发明(设计)人: | 于旭东;盛建明 | 申请(专利权)人: | 江西同人电子材料有限公司 |
主分类号: | C30B11/00 | 分类号: | C30B11/00;C30B29/20 |
代理公司: | 北京市德恒律师事务所 11306 | 代理人: | 陆鑫;熊须远 |
地址: | 335000 *** | 国省代码: | 江西;36 |
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摘要: | 本实用新型公开一种用于晶体生长的隔热装置,该隔热装置放置在坩埚上,其包括多个隔热板,其相互叠放在坩埚上并且在中部设置有贯通多个隔热板的孔;间隔件,其设置在多个隔热板的相邻两个之间;以及保持件,其设置在多个隔热板中以固定多个隔热板。根据本实用新型的隔热装置,在多个隔热板之间设置有U形隔板,通过在隔热板之间形成间隙,并且通过在多个隔热板中形成阶梯孔的方式,使得多个隔热板之间以热辐射的方式形成了比较理想的温度梯度;而且,U形隔板贯穿于隔热板的内、外边缘之间,使隔热板在长期高温下保持稳定、不变形,保证了隔热装置提供热场的稳定性。 | ||
搜索关键词: | 用于 晶体生长 隔热 装置 | ||
【主权项】:
一种用于晶体生长的隔热装置,其特征在于,所述隔热装置放置在坩埚上,并且,所述隔热装置包括:多个隔热板(11),相互叠放在所述坩埚上,并且在该叠放的多个隔热板中设置有贯通所述多个隔热板的孔;间隔件,所述间隔件设置在所述多个隔热板(11)的相邻两个之间;以及保持件,所述保持件设置在所述多个隔热板(11)中以固定所述多个隔热板(11)。
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