[实用新型]多晶铸锭炉改良热场

摘要

本实用新型涉及一种多晶铸锭炉改良热场。本实用新型的多晶铸锭炉改良热场包括铸锭炉炉体，炉体内部设置有石墨加热器、石墨坩埚、支撑板；石墨加热器活动罩在石墨坩埚的外围，支撑板设置于石墨坩埚的底部；石墨加热器由前石墨板、后石墨板、左石墨板、右石墨板和顶部石墨板围拢而成；搭接件由侧翼和垂直翼组成，侧翼平贴与顶部石墨板接触，垂直翼平贴与前石墨板或后石墨板或左石墨板或右石墨板接触。本实用新型的优点：通过将搭接件的垂直翼适当延长的简单技术就可以明显提高成晶率。更改工艺后使成晶率增加了4-5个百分点；在多晶少子寿命上也得到了重大的改善，从而大大的提高了多晶硅片的转换效率和电性能。

主权项

多晶铸锭炉改良热场，包括铸锭炉炉体，炉体内部设置有石墨加热器(1)、石墨坩埚(2)、支撑板(3)；石墨加热器(1)活动罩在石墨坩埚(2)的外围，支撑板(3)设置于石墨坩埚(2)的底部；石墨加热器(1)由前石墨板(A1)、后石墨板(B1)、左石墨板(C1)、右石墨板(D1)和顶部石墨板(E1)围拢而成；前石墨板(A1)、后石墨板(B1)、左石墨板(C1)、右石墨板(D1)和顶部石墨板(E1)均为矩形；顶部石墨板(E1)与前石墨板(A1)、后石墨板(B1)、左石墨板(C1)、右石墨板(D1)分别依靠搭接件(4)连接为一体；搭接件(4)由侧翼(5)和垂直翼(6)组成，侧翼(5)和垂直翼(6)互相垂直；侧翼(5)的尾部设置有安装孔，垂直翼(6)的尾部设置有安装孔；侧翼(5)平贴与顶部石墨板(E1)接触，垂直翼(6)平贴与前石墨板(A1)或后石墨板(B1)或左石墨板(C1)或右石墨板(D1)接触。其特征在于：侧翼(5)的长度为14 16厘米，垂直翼(6)的长度为19 26厘米。