[实用新型]一种太阳能电池扩散排废装置有效
| 申请号： | 201020523508.7 | 申请日： | 2010-09-09 |
| 公开（公告）号： | CN201788993U | 公开（公告）日： | 2011-04-06 |
| 发明（设计）人： | 王锋萍 | 申请（专利权）人： | 浙江百力达太阳能有限公司 |
| 主分类号： | H01L31/18 | 分类号： | H01L31/18;C30B31/16 |
| 代理公司： | 上海申汇专利代理有限公司 31001 | 代理人： | 翁若莹;柏子雵 |
| 地址： | 314512 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种太阳能电池扩散排废装置，其特征在于：包括承插式环形石英管，承插式环形石英管设于炉体石英管的前端，在承插式环形石英管上开有对称分布的孔，排废抽风管插入从炉体石英管内并与承插式环形石英管插接。本实用新型的优点是：实现炉内气氛稳定，浓度较为均匀，提高硅片特别是靠近炉口端的硅片的方块电阻均匀性，从而提高转换效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 太阳能电池 扩散 装置 | ||
【主权项】：
一种太阳能电池扩散排废装置，其特征在于：包括承插式环形石英管（2），承插式环形石英管（2）设于炉体石英管（3）的前端，在承插式环形石英管（2）上开有对称分布的孔，排废抽风管（5）插入从炉体石英管（3）内并与承插式环形石英管（2）插接。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
