[实用新型]单晶炉用热屏无效
申请号: | 201020531582.3 | 申请日: | 2010-09-14 |
公开(公告)号: | CN201785546U | 公开(公告)日: | 2011-04-06 |
发明(设计)人: | 张勇 | 申请(专利权)人: | 安徽中科太阳能有限公司 |
主分类号: | C30B15/14 | 分类号: | C30B15/14 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 239200 安*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | 本实用新型涉及单晶炉用热屏,包括外热屏、内热屏以及位于外热屏和内热屏之间的保温层,所述的外热屏和内热屏固定连接,外热屏的锥度为0.16-0.23,内热屏的锥度为0.52-0.63,所述的内热屏和外热屏均采用等静压石墨制成,保温层的材料为软毡。本实用新型的有益效果是:通过调整内外热屏锥度,改变保温层厚度,使屏蔽效果更佳,硅单晶生长速度更快;外热屏锥度变小,外热屏底部略平,增大了氩气流速,增强了SiO等杂质的挥发,改善了硅单晶的生长环境,提高了硅单晶收率及质量。 | ||
搜索关键词: | 单晶炉用热屏 | ||
【主权项】:
一种单晶炉用热屏,包括外热屏、内热屏以及位于外热屏和内热屏之间的保温层,其特征在于:所述的外热屏和内热屏固定连接,外热屏的锥度为0.16 0.23,内热屏的锥度为0.52 0.63。
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