[实用新型]高纯度三氯氧磷储运供料装置有效
| 申请号： | 201020536741.9 | 申请日： | 2010-09-17 |
| 公开（公告）号： | CN201827656U | 公开（公告）日： | 2011-05-11 |
| 发明（设计）人： | 向东;舒骁骥;姜盛君 | 申请（专利权）人： | 向东 |
| 主分类号： | F17D1/14 | 分类号： | F17D1/14 |
| 代理公司： | 徐州市淮海专利事务所 32205 | 代理人： | 胡亚辉 |
| 地址： | 550001 贵州省贵*** | 国省代码： | 贵州;52 |
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| 摘要： | 一种高纯度三氯氧磷储运供料装置，高纯三氯氧磷储料罐上的出料口阀门通过带高纯耐腐蚀泵的输料管连接高纯三氯氧磷储料罐上的回料口阀门，形成闭路循环，输料管上的次级输料管道连接外包半导体冷阱的石英鼓泡器，石英鼓泡器连接磷扩散器，带调压阀的高纯氮气进气管分别连接高纯三氯氧磷储料罐上的氮气入口阀、回料口阀门和出料口阀门。本实用新型减少了操作的劳动强度，节约人力成本；增加了操作的安全性，同时减少了物料污染的几率；增强了操作系统的连续性，简化了操作的难易度；全PFA材料彻底杜绝了玻璃材料和其他材料的金属杂质溶出风险；极大地减少了生产和物流成本，受到三氯氧磷使用厂家的广泛欢迎。 | ||
| 搜索关键词： | 纯度 三氯氧磷 储运 供料 装置 | ||
【主权项】：
一种高纯度三氯氧磷储运供料装置，其特征是：高纯三氯氧磷储料罐上的出料口阀门通过带高纯耐腐蚀泵的输料管连接高纯三氯氧磷储料罐上的回料口阀门，形成闭路循环，输料管上的次级输料管道连接外包半导体冷阱的石英鼓泡器，石英鼓泡器连接磷扩散器，带调压阀的高纯氮气进气管分别连接高纯三氯氧磷储料罐上的氮气入口阀、回料口阀门和出料口阀门。
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