[实用新型]一种涂胶显影机台有效
| 申请号： | 201020539780.4 | 申请日： | 2010-09-21 |
| 公开（公告）号： | CN201765433U | 公开（公告）日： | 2011-03-16 |
| 发明（设计）人： | 鲁旭光;陈晓琪;胡清强;王波 | 申请（专利权）人： | 和舰科技(苏州)有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/16 | 分类号： | G03F7/16;G03F7/26;H01L21/027 |
| 代理公司： | 北京连和连知识产权代理有限公司 11278 | 代理人： | 王光辉 |
| 地址： | 215025 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种涂胶显影机台，包含光阻容器，所述光阻容器上设置有输入管路、输出管路和排空管路，所述输入管路和输出管路上分别设置有检测管路内是否有气泡的输入端传感器和输出端传感器，所述排空管路上设置有用于检测排空管路内是否有气泡的排空端传感器。本实用新型的涂胶显影机台通过在光阻容器的排空管路上加装排空端传感器，在光阻容器中的气泡没有完全排除时，涂胶显影机台会持续报警。本实用新型能够在不改变机台软件的情况下良好的侦测机台光阻缓存区是否有气泡，从而避免因光阻缓存区气泡没有排除干净而产生的晶片蚀刻良率或可靠度降低的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 涂胶 显影 机台 | ||
【主权项】：
一种涂胶显影机台，包含光阻容器，所述光阻容器上设置有输入管路、输出管路和排空管路，所述输入管路和输出管路上分别设置有检测管路内是否有气泡的输入端传感器和输出端传感器，其特征在于，所述排空管路上设置有用于检测排空管路内是否有气泡的排空端传感器。
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