[实用新型]用于镶嵌样品的扫描电镜专用夹具有效
申请号: | 201020542214.9 | 申请日: | 2010-09-26 |
公开(公告)号: | CN201829449U | 公开(公告)日: | 2011-05-11 |
发明(设计)人: | 唐静;谢杰 | 申请(专利权)人: | 攀钢集团钢铁钒钛股份有限公司;攀钢集团攀枝花钢铁研究院有限公司 |
主分类号: | H01J37/20 | 分类号: | H01J37/20 |
代理公司: | 成都虹桥专利事务所 51124 | 代理人: | 何强 |
地址: | 617067 四*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种用于镶嵌样品的扫描电镜专用夹具,可实现冷镶嵌样品的导电性。该用于镶嵌样品的扫描电镜专用夹具,包括具有容腔的导电基座,在导电基座上设置有可伸入导电基座容腔的导电件。通过导电基座与导电件的设置,可使试样与导电基座通过导电件形成一个导电体,从而实现了镶嵌样品的导电性,拓展了扫描电镜对样品的可使用范围;夹具结构简单,制造方便,且该夹具不受热、冷镶嵌材料的影响,无需必须选择导电的热镶嵌材料,从而可降低成本,同时还不受被镶嵌样品形状、大小的影响,很方便地实现了镶嵌样品的导电性,尤其适合镶嵌样品采用冷镶嵌材料的扫描电镜试验中推广应用。 | ||
搜索关键词: | 用于 镶嵌 样品 扫描电镜 专用 夹具 | ||
【主权项】:
用于镶嵌样品的扫描电镜专用夹具,其特征是:包括具有容腔的导电基座(1),在导电基座(1)上设置有可伸入导电基座(1)容腔的导电件(2)。
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