[实用新型]气体压力变送器有效
申请号: | 201020546412.2 | 申请日: | 2010-09-28 |
公开(公告)号: | CN201892596U | 公开(公告)日: | 2011-07-06 |
发明(设计)人: | 刘胜;张宗阳;王小平;卢云 | 申请(专利权)人: | 刘胜 |
主分类号: | G01L19/00 | 分类号: | G01L19/00;G01L19/08;G01L9/00 |
代理公司: | 上海市华诚律师事务所 31210 | 代理人: | 李平 |
地址: | 200120 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 一种气体压力变送器,本实用新型包括:挡环、ASIC芯片、微机械结构的MEMS芯片、基板、O形圈、外壳,外壳由两个不同直径的圆管状体叠加组合而成,两个不同直径的圆管状体的结合部为一圆平面,其特征在于所述基板嵌装在外壳内,基板的下表面粘贴有一MEMS芯片,基板的上表面设有一ASIC芯片,基板的上表面外围设有挡环,基板的下表面与圆管状体的结合部圆平面之间设有O形圈。本实用新型的优点是在封装过程中无实施焊接工艺,降低了封装工艺过程对产品合格率及性能的影响,同时降低了产品成本。 | ||
搜索关键词: | 气体 压力变送器 | ||
【主权项】:
一种气体压力变送器,包括:挡环、ASIC芯片、微机械结构MEMS芯片、基板、O形圈、外壳,外壳由两个不同直径的圆管状体叠加组合而成,两个不同直径的圆管状体的结合部为一圆平面,其特征在于所述基板嵌装在外壳内,基板的下表面粘贴有一MEMS芯片,基板的上表面设有一ASIC芯片,基板的上表面外围设有挡环,基板的下表面与圆管状体的结合部圆平面之间设有O形圈。
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