[实用新型]改善扩散方阻均匀性的扩散炉无效
| 申请号： | 201020547743.8 | 申请日： | 2010-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN201852445U | 公开（公告）日： | 2011-06-01 |
| 发明（设计）人： | 蒋文曲 | 申请（专利权）人： | 常州天合光能有限公司 |
| 主分类号： | F27B17/00 | 分类号： | F27B17/00 |
| 代理公司： | 常州市维益专利事务所 32211 | 代理人： | 王凌霄 |
| 地址： | 213031 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及扩散炉技术领域，特别是一种改善扩散方阻均匀性的扩散炉，它包括炉管，炉管上的进气口和尾气管，在进气口设置气流均匀分散器。由于现有扩散设备在扩散过程中，工艺气体直接从炉管尾进气口进入炉管，没有分散，造成炉管内气流不均匀，最终造成扩散后方阻均匀性较差。通过在炉尾进气口添加匀流器，可以有效地改善气流均匀性，最终达到方阻均匀性改善的效果。 | ||
| 搜索关键词： | 改善 扩散 均匀 | ||
【主权项】：
一种改善扩散方阻均匀性的扩散炉，包括炉管(1)，炉管(1)上的进气口(2)和尾气管(3)，其特征是：在所述的进气口(2)设置气流均匀分散器(4)。
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