[实用新型]硅片镀膜载板

摘要

本实用新型涉及硅片镀膜设备技术领域，特别是一种硅片镀膜设备内的镀膜载板，在载板的前端与后端分别安装一条垂直载板前进方向的匀流条，匀流条高出载板的上端和下端。匀流条的安装可以显著的降低载板前后端色差片的产生；同时匀流条的安装增加了石墨载板的强度，使载板更加平稳的运行于设备中，降低设备发生故障的几率。

主权项

一种硅片镀膜载板，其特征是：在载板(1)的前端与后端分别安装一条垂直载板前进方向的匀流条(2)，匀流条(2)高出载板的上端和下端。