[实用新型]夹紧的单体喷头电极和喷头电极组件

摘要

一种在半导体衬底处理中使用的等离子反应室的电极组件。该组件包括上部喷头电极，其通过一系列隔开的凸轮锁以机械方式连接到衬板。保护环围绕该衬板，并且可移动到使该保护环中的开口对准该衬板中开口的位置，从而该凸轮锁可利用工具转动以松开从该喷头电极的上表面延伸出的锁定销。

主权项

一种用于等离子反应室的喷头电极，所述喷头电极包括：由该喷头电极的上表面和下表面所限定的中心部分和边缘部分，该上表面包括延伸跨过该中心部分和该边缘部分的平面，该下表面由延伸跨过该中心部分的平的内表面和延伸跨过该边缘部分的台阶状外表面形成，该台阶状外表面包括至少一个环形表面，其形成该喷头电极厚度增加的区域；在该边缘部分的该上表面中的多个圆周隔开承窝，该承窝构造为在其中接收适于将该喷头电极夹紧于衬板的凸轮锁；该喷头电极的该中心部分中的多个气体出口，通过该出口可将工艺气体输送到该喷头电极和下部电极之间的间隙，晶片支撑在该下部电极上，该气体出口布置为如下图案：具有一个中心气体出口和13排圆周延伸的气体出口，其中10个气体出口位于距该喷头电极中心0.5英寸的第一排中，18个气体出口位于距该中心0.9英寸的第二排中，28个气体出口位于距该中心1.4英寸的第三排中，38个气体出口位于距该中心1.8英寸的第四排中，46个气体出口位于距该中心2.3英寸的第五排中，56个气体出口位于距该中心2.7英寸的第六排中，66个气体出口位于距该中心3.2英寸的第七排中，74个气体出口位于距该中心3.6英寸的第八排中，84个气体出口位于距该中心4.1英寸的第九排中，94个气体出口位于距该中心4.6英寸的第十排中，104个气体出口位于距该中心5.1英寸的第十一排中，110个气体出口位于距该中心5.4英寸的第十二排中和120个气体出口位于距该中心5.7英寸的第十三排中；以及该上表面中的温度传感器接收孔，构造为接收温度传感器的尖端。