[实用新型]综合利用废硅粉生产三氯氢硅的设备

摘要

综合利用废硅粉生产三氯氢硅的设备，包括三氯氢硅合成炉混合气出口管道连接高效旋风分离器，高效旋风分离器的出料口与硅粉回收罐连接；高效旋风分离器的出气口连接一级旋风分离器，一级旋风分离器的下方设有一级存渣罐，一级旋风分离器的出气口连接二级旋风分离器，二级旋风分离器的下方设有二级存渣罐；二级旋风分离器的出气口依次连接一级布袋除尘器和二级布袋除尘器，一级布袋除尘器和二级布袋除尘器出料口均通过吹渣管道与硅粉回收罐相连接，硅粉回收罐的出料口与三氯氢硅合成炉回收口连接。该设备具有节能效果显著、环保效益高、安全系数高、工艺独特，易于操作，设备简单，设备使用寿命长等特点。

主权项

一种综合利用废硅粉生产三氯氢硅的设备，包括三氯氢硅合成炉（1），其特征在于：三氯氢硅合成炉混合气出口管道（2）连接高效旋风分离器（3），高效旋风分离器（3）的出料口与硅粉回收罐（12）连接；高效旋风分离器（3）的出气口连接一级旋风分离器（4），一级旋风分离器（4）的下方设有一级存渣罐（5）， 一级旋风分离器（4）的出气口连接二级旋风分离器（6），二级旋风分离器（6）的下方设有二级存渣罐（7）；二级旋风分离器（6）的出气口依次连接一级布袋除尘器（8）和二级布袋除尘器（9），一级布袋除尘器（8）和二级布袋除尘器（9）出料口均通过吹渣管道（11）与硅粉回收罐（12）相连接，硅粉回收罐（12）的出料口与三氯氢硅合成炉回收口（19）连接。