[实用新型]一种大功率半导体激光阵列快慢轴光束质量均匀化装置

摘要

本实用新型是大功率半导体激光阵列整形装置，属于激光技术应用领域。该装置包括一组经过改进的等腰直角棱镜。该棱镜组中的经过改进的等腰直角棱镜的尺寸结构完全相同，只是放置位置不同，所有的棱镜沿半导体激光阵列的慢轴方向平行放置，前后错开一定的距离，呈阶梯状分布。前后错开一定距离的所有棱镜的第一个面对激光阵列的慢轴进行光束切割，经过与第一个面呈45°的第二个面，光束发生全反射，经过一次全反射后的光束，遇到与第一个面和第二个面都呈45°的第三个面，再次发生全反射，达到使光束切割重排的效果。该装置的效率比较高，特别适合于大功率半导体激光光束整形，同时该装置还具有成本低、装调方便等优点。

主权项

1.大功率半导体激光阵列棱镜反射式整形装置，其特征在于：包括一组经过改进的等腰直角棱镜组，等腰直角棱镜组由N个尺寸结构相同的经过改进的等腰直角棱镜组成，其中N为激光束在慢轴方向被分割的份数，由公式计算得出，其中，BPPs为慢轴的光参数乘积，BPP_f为快轴的光参数乘积；每个经过改进的等腰直角棱镜组的具体结构如下：所述的经过改进的等腰直角棱镜是在一个大等腰直角棱镜其中一个直角面上设置有一个小等腰直角棱镜，小等腰直角棱镜的直角边长度等于大等腰直角棱镜的厚度，小等腰直角棱镜的厚度等于大等腰直角棱镜直角边的长度，小等腰直角棱镜的一个直角面与大等腰直角棱镜的一个直角面完全重合；大等腰直角棱镜直角边的长度等于待整形的半导体激光阵列快轴方向的尺寸，大等腰直角棱镜的厚度等于半导体激光阵列慢轴方向尺寸的1/N；大等腰直角棱镜和小等腰直角棱镜合成一个统一的结构，一次性加工完成，形成经过改进的等腰直角棱镜；所述的经过改进的等腰直角棱镜组中包括的N个尺寸结构完全相同的经过改进的等腰直角棱镜的放置位置不同，具体放置方法为：所有的经过改进的等腰直角棱镜厚度方向沿快轴方向平行放置，相邻两个经过改进的等腰直角棱镜在厚度方向上的边界面有且仅有一个保持共面，即N个尺寸完全相同的经过改进的等腰直角棱镜沿慢轴方向的总厚度等于半导体激光阵列慢轴方向的尺寸；所有的经过改进的等腰直角棱镜在高度上保持同一水平，即都等于半导体激光阵列快轴方向的尺寸；所有的经过改进的等腰直角棱镜在垂直于激光阵列发光面方向上呈阶梯状依次错开，错开的距离等于半导体激光阵列快轴方向的尺寸；经过改进的等腰直角棱镜的厚度即指大等腰直角棱镜的厚度。