[实用新型]一种新型三瓣石墨坩埚单晶炉无效
申请号: | 201020558035.4 | 申请日: | 2010-10-13 |
公开(公告)号: | CN201801634U | 公开(公告)日: | 2011-04-20 |
发明(设计)人: | 钟小平 | 申请(专利权)人: | 浙江舒奇蒙能源科技有限公司 |
主分类号: | C30B15/10 | 分类号: | C30B15/10 |
代理公司: | 杭州杭诚专利事务所有限公司 33109 | 代理人: | 尉伟敏 |
地址: | 311227 浙江省杭州市萧山*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种新型三瓣石墨坩埚单晶炉,包括炉壳、保温层、石英坩埚、石墨坩埚、加热器和保温桶,石墨坩埚的里面设置石英坩埚,石墨坩埚的外面设置加热器,加热器的外面设置保温层,所述石墨坩埚三瓣侧壁间拼缝与径向成40度-45度斜角。解决了现有石墨坩埚之间的拼缝是径向的,这样的拼缝不严密时,拼缝间隙处热辐射容易射入,直接给石英坩埚加热,坩埚内受热不均匀,造成单晶旋转性缺陷,影响晶体品质的问题。 | ||
搜索关键词: | 一种 新型 三瓣 石墨 坩埚 单晶炉 | ||
【主权项】:
一种新型三瓣石墨坩埚单晶炉,包括炉壳(1)、保温层(14)、石英坩埚(3)、石墨坩埚(2)、加热器(5)和保温桶,石墨坩埚(2)的里面设置石英坩埚(3),石墨坩埚(2)的外面设置加热器(5),加热器(5)的外面设置保温层(14),其特征是,所述石墨坩埚(2)三瓣侧壁间拼缝与径向成40度 50度斜角。
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