[实用新型]大口径高速压电振镜

摘要

本实用新型公开了一种大口径高速压电振镜，所述的驱动器(4)为压电驱动器，并且有一对，分别安装在镜座(2)的两侧，工作时互做反方向运动，形成与镜面(1)相同工作模式的外部激励力矩，使镜面(1)受迫振动，从而实现高速压电振镜的转角输出；而镜座(2)分为弹性结构(21)和刚性结构，刚性结构的中间部分位于镜面(1)下方并直接与镜面(1)粘接，弹性结构与(21)与柔性头(3)相连；本实用新型的有益效果是：所用压电驱动器具有大的负载能力和快速响应能力，能实现高速振镜的大通光口径(40mm以上)、高工作频率(2000Hz以上)、较大转角范围(30′以上)等技术要求。

主权项

一种大口径高速压电振镜，包括镜面(1)、镜座(2)、柔性头(3)、驱动器(4)、位置传感器(5)和底座(6)，其中镜面(1)无应力粘在结镜座(2)之上，镜座(2)下方与柔性头(3)相连，驱动器(4)下端固定于底座(6)之上，驱动器(4)上端粘有柔性头(3)，位置传感器(5)固定于底座(6)中部上方同时位于镜座(2)下方，用于感知镜面(1)的实际转角位置，其特征在于：所述的驱动器(4)为压电驱动器，并且有一对，分别安装在镜座(2)的两侧，工作时互做反方向运动，形成与镜面(1)相同工作模式的外部激励力矩，使镜面(1)受迫振动；而镜座(2)分为弹性结构(21)和刚性结构，刚性结构的中间部分位于镜面(1)下方并直接与镜面(1)粘接，弹性结构(21)与柔性头(3)相连；镜座(2)的外部轮廓为带圆角的矩形，所述的刚性结构由位于镜面正下方的镜面基座(22)、位于镜座(2)两侧的矩形长边(23)以及位于矩形短边的中间部分的短件(24)构成，弹性结构(21)则呈两个“T”字形，弹性结构(21)中“T”字形的顶部横边和刚性结构的短件(24)固定，弹性结构(21)中“T”字形的竖边和刚性结构的镜面基座(22)固定，弹性结构(21)为驱动器(4)提供预压力。