[实用新型]大直径水晶圆片倒角工装无效
申请号: | 201020561976.3 | 申请日: | 2010-10-15 |
公开(公告)号: | CN201824234U | 公开(公告)日: | 2011-05-11 |
发明(设计)人: | 宋红杰;许建峰 | 申请(专利权)人: | 北京石晶光电科技股份有限公司济源分公司 |
主分类号: | B24B37/00 | 分类号: | B24B37/00;B24B41/00 |
代理公司: | 郑州红元帅专利代理事务所(普通合伙) 41117 | 代理人: | 黄军委 |
地址: | 454650 河南省济*** | 国省代码: | 河南;41 |
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摘要: | 本实用新型提供一种大直径水晶圆片倒角工装,它包括四轴研磨机、碗型倒角工装和水晶圆片真空粘钩,所述碗型倒角工装包括具有球形凹面的碗体和设置在碗体下部的连接体,所述碗体的球形凹面上设置有一层研磨砂,所述碗型倒角工装的连接体安装于所述四轴研磨机的传动轴上,所述水晶圆片真空粘钩中心对应所述球形凹面的中心设置。该倒角工装具有工作效率高、易于操作、制造成本低廉、研磨效果理想、倒角质量可靠、无崩边的优点。 | ||
搜索关键词: | 直径 水晶 倒角 工装 | ||
【主权项】:
一种大直径水晶圆片倒角工装,其特征在于:该大直径水晶圆片倒角工装包括四轴研磨机、碗型倒角工装和水晶圆片真空粘钩,所述碗型倒角工装包括具有球形凹面的碗体和设置在碗体下部的连接体,所述碗体的球形凹面上设置有一层研磨砂,所述碗型倒角工装的连接体安装于所述四轴研磨机的传动轴上,所述水晶圆片真空粘钩中心对应所述球形凹面的中心设置。
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