[实用新型]一种化学机械研磨样品固定工具有效
| 申请号： | 201020564887.4 | 申请日： | 2010-10-16 |
| 公开（公告）号： | CN201863114U | 公开（公告）日： | 2011-06-15 |
| 发明（设计）人： | 蓝业顷 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/00 | 分类号： | B24B37/00;B24B41/06 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种化学机械研磨样品固定工具，包括：平板本体，所述平板本体上具有中空的样品定位孔，所述样品定位孔的两侧具有中空的样品定位轨道；所述平板本体之上置有样品固定板，所述样品固定板上设置有中空的样品固定筒，所述样品固定筒的两端均为开放式，所述样品固定板的两端通过固定件固定于所述样品定位轨道上，所述样品固定筒置于所述样品定位孔之内。使用本实用新型的化学机械研磨样品固定工具对样品进行研磨时，可使样品研磨得到的研磨面非常平整，成本低廉，易于制造使用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 化学 机械 研磨 样品 固定 工具 | ||
【主权项】：
一种化学机械研磨样品固定工具，其特征在于，包括：平板本体，所述平板本体上具有中空的样品定位孔，所述样品定位孔的两侧具有中空的样品定位轨道；所述平板本体之上置有样品固定板，所述样品固定板上设置有中空的样品固定筒，所述样品固定筒的两端均为开放式，所述样品固定板的两端通过固定件固定于所述样品定位轨道上，所述样品固定筒置于所述样品定位孔之内。
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