[实用新型]一种单晶炉的石墨热场无效
| 申请号： | 201020564917.1 | 申请日： | 2010-10-18 |
| 公开（公告）号： | CN201809477U | 公开（公告）日： | 2011-04-27 |
| 发明（设计）人： | 朱朝平 | 申请（专利权）人： | 镇江辉煌电子有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/14 | 分类号： | C30B15/14 |
| 代理公司： | 上海海颂知识产权代理事务所(普通合伙) 31258 | 代理人： | 季萍 |
| 地址： | 212211 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种单晶炉的石墨热场，包括保温筒、导流筒、加热器，所述保温筒上设有多个排气孔，其中，所述导流筒由导流内层和导流外层组成，所述导流内层与所述导流外层之间设有间隙，由于所述导流筒由导流内层和导流外层组成，所述导流内、外层之间设有间隙，减少热场的散热，使热量以热辐射的形式传输，节省了电能消耗，大大加快速了单晶硅生长速度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 单晶炉 石墨 | ||
【主权项】：
一种单晶炉的石墨热场，包括保温筒、导流筒、加热器，所述保温筒上设有多个排气孔，其特征在于，所述导流筒由导流内层和导流外层组成，所述导流内层与所述导流外层之间设有间隙。
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