[实用新型]研磨垫调整装置有效
| 申请号： | 201020565101.0 | 申请日： | 2010-10-16 |
| 公开（公告）号： | CN201940892U | 公开（公告）日： | 2011-08-24 |
| 发明（设计）人： | 王哲;孙涛;张春磊;宋辉英;任洁 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/00 | 分类号： | B24B37/00;B24B41/00 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种研磨垫调整装置，所述研磨垫调整装置用于调整研磨垫的研磨表面的平整度，所述研磨垫调整装置包括一机械臂，所述机械臂包括：第一壳体、便于液体流动的第二壳体、以及由第一壳体和第二壳体限定的容置空间，所述第一壳体面向所述研磨表面，所述第二壳体与所述第一壳体连接并远离所述研磨表面。本实用新型可防止第二壳体表面形成污染物，有利于提高化学机械研磨制程的稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨 调整 装置 | ||
【主权项】：
一种研磨垫调整装置，用于调整研磨垫的研磨表面的平整度，其特征在于，所述研磨垫调整装置包括一机械臂，所述机械臂包括：第一壳体、便于液体流动的第二壳体、以及由第一壳体和第二壳体限定的容置空间，所述第一壳体面向所述研磨表面，所述第二壳体与第一壳体连接并远离所述研磨表面。
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