[实用新型]靶材装置无效

专利信息
申请号: 201020566063.0 申请日: 2010-10-19
公开(公告)号: CN201809435U 公开(公告)日: 2011-04-27
发明(设计)人: 黄泳钊;郑博仁 申请(专利权)人: 北儒精密股份有限公司
主分类号: C23C14/34 分类号: C23C14/34
代理公司: 北京泰吉知识产权代理有限公司 11355 代理人: 张雅军;罗会英
地址: 中国台*** 国省代码: 中国台湾;71
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摘要: 一种靶材装置包含:一个第一背板机构、一个可与该第一背板机构拼接的第二背板机构,及一个第一接合机构。该第一背板机构包括一个第一板单元,及一个安装在该第一板单元上的第一靶材。该第一板单元具有一个第一上板面、一个第一下板面、数个自该第一上板面凹陷且彼此连通地并排的第一主流道,及数个贯穿该第一上板面而连通所述第一主流道的第一注水口。该第二背板机构的结构与外型与该第一背板机构相同。所述第一接合机构可卡合地拼接第一背板机构的第一板单元与第二背板机构的第二板单元,而提高适应性,并达到均匀地冷却的效果。
搜索关键词: 装置
【主权项】:
一种靶材装置,包含:一个第一背板机构,该第一背板机构包括一个第一板单元,及一个安装在该第一板单元上的第一靶材,该第一板单元具有一个第一上板面、一个与该第一靶材贴靠的第一下板面、数个自该第一上板面凹陷且彼此连通地并排的第一主流道,及数个贯穿该第一上板面地与所述第一主流道连通的第一注水口;其特征在于:该靶材装置还包含一个与该第一背板机构拼接的第二背板机构,及一个可卡合地位在该第一背板机构与该第二背板机构间的第一接合机构,该第二背板机构包括一个可利用该第一接合机构而与该第一板单元拼接的第二板单元,及一个安装在该第二板单元上的第二靶材,该第二板单元具有一个第二上板面、一个与该第二靶材贴靠的第二下板面、数个自该第二上板面凹陷且彼此连通地并排的第二主流道,及两个贯穿该第二上板面地与所述第二主流道连通的第二注水口。
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