[实用新型]可升降的移动式磁铁组

摘要

一种可升降的移动式磁铁组，可在一靶材周围产生磁场，其包含：一个基座、一个装设在该基座上的平移装置、一个升降装置，及一个磁性装置。该平移装置包括一个装设在该基座上的平移基台，及一个可带动该平移基台水平移动的平移动力机构。该升降装置包括一个架设在该平移基台上的升降基板，及一个可带动该升降基板上下移动的升降动力机构。该磁性装置安装在该升降基板上。借该平移装置及升降装置，使该磁性装置可水平与直立地移动，进而调整该磁性装置的磁场覆盖该靶材的区域，使该靶材可更均匀地被溅射，以达到延长靶材使用寿命的目的。

主权项

一种可升降的移动式磁铁组，可在一个靶材周围产生磁场，并包含：一个基座，及一个安装在该基座上方并在周围产生磁场的磁性装置；其特征在于：该可升降的移动式磁铁组还包含：一个平移装置，装设在该基座上，并包括一个架设在该基座上的平移基台，及一个可带动该平移基台相对该基座水平移动的平移动力机构；及一个升降装置，包括一个架设在该平移基台上并安装在该磁性装置下的升降基板，及一个可带动该升降基板相对该基座上下移动的升降动力机构。