[实用新型]单晶片双对电极石英晶体微量天平探头装置有效
| 申请号： | 201020574666.5 | 申请日： | 2010-10-25 |
| 公开（公告）号： | CN201876398U | 公开（公告）日： | 2011-06-22 |
| 发明（设计）人： | 臧卫国;于钱;杨东升;院小雪;易忠 | 申请（专利权）人： | 北京卫星环境工程研究所 |
| 主分类号： | G01N5/00 | 分类号： | G01N5/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100094 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种单晶片双对电极石英晶体微量天平探头装置，包括探头盖、开口挡板、晶片组件、温控组件、法兰、电连接组件、电路组件和外壳。其中晶片组件中的传感晶片上方开设有能够接受来自外部的污染沉积物的传感窗口，晶片组件中参考晶片上方开口对应在前外壳上设置有透明板，在阻挡外部污染沉积物的同时，能够接受与传感晶片相同的外部热辐射，保持参考晶片与传感晶片相同的热环境。本实用新型的单晶片双对电极石英晶体微量天平探头采用传感晶片和参考晶片同体设计，而且均有相同的热环境，通过传感晶片和参考晶片的输出频率的差频，消除温度造成的频率漂移效应。 | ||
| 搜索关键词： | 晶片 电极 石英 晶体 微量 天平 探头 装置 | ||
【主权项】：
一种单晶片双对电极石英晶体微量天平探头装置，包括探头盖、开口挡板(1)、晶片组件(2)、温控组件(3)、法兰、电连接组件(4)、电路组件(5)和外壳，所述开口挡板(1)由挡板(11)和透明板(12)组成；所述晶片组件(2)由传感晶片(21)、参考晶片(22)、传感晶片弹簧(23)、参考晶片弹簧(24)和晶片底座(25)组成；所述电路组件(5)由振荡差频厚膜电路(51)、连接电路板(52)、插座(53)组成；所述电连接组件(4)由绝热垫(41)、电连接片(42)、固定螺母(43)、电连接柱(44)、连接线(45)组成；其特征在于，晶片组件(2)中的传感晶片(21)上方开设有能够接受来自外部的污染沉积物的传感窗口，晶片组件(2)中参考晶片上方开口对应在前外壳上设置有透明板，包括传感晶片(21)和参考晶片(22)的石英晶片通过传感晶片弹簧(23)和参考晶片弹簧(24)固定在晶片底座(25)上，弹簧同时作为传感晶片(21)和参考晶片(22)的电性连接通道，晶片底座(25)依靠四个电连接柱(44)，通过电连接片(42)、连接线(45)与连接电路板(52)电性连接，连接电路板(52)上的振荡差频厚膜电路(51)驱动传感晶片(21)和参考晶片(22)产生10MHz左右的振荡信号并差频输出方波信号，通过插座(53)引出到外部的石英晶体微量天平控制器进行数据采集。
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