[实用新型]石英玻璃管硅片托架部件无效
| 申请号： | 201020581565.0 | 申请日： | 2010-10-29 |
| 公开（公告）号： | CN201858876U | 公开（公告）日： | 2011-06-08 |
| 发明（设计）人： | 孙铁囤;荀建华;刘志刚;高玉山;潘盛;姚伟忠;陈琼 | 申请（专利权）人： | 常州亿晶光电科技有限公司 |
| 主分类号： | F27B9/30 | 分类号： | F27B9/30;H01L31/18;H01L21/677 |
| 代理公司： | 常州市维益专利事务所 32211 | 代理人： | 周祥生 |
| 地址： | 213200 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型为无网带硅片烧结炉提供一种石英玻璃管硅片托架部件，包括石英玻璃管、金属套、托脚和限位螺钉，托脚固定在金属套上，在金属套上设有螺纹孔，金属套通过限位螺钉等间距地固定在石英玻璃管上，所述托脚由钢丝制成，在钢丝表面涂有陶瓷涂层。由于石英玻璃管具有强度高、耐高温、膨胀系数低、耐热震性、耐酸性、化学稳定性、电绝缘性能良好、吸热量少等优点，很适合作为硅片托架，托脚用钢丝制成，并在其外表面上设有陶瓷涂层，既满足了托脚应具备的强度、耐高温、耐磨损要求，降低硅片在烧结过程中由于金属接触而引起的金属离子污染。在金属套上开设开口和螺纹孔，便于金属套固定在石英玻璃管上。 | ||
| 搜索关键词： | 石英 玻璃管 硅片 托架 部件 | ||
【主权项】：
一种石英玻璃管硅片托架部件，其特征是：包括石英玻璃管(411)、金属套(412)、托脚(413)和限位螺钉(414)，托脚(413)固定在金属套(412)上，在金属套(412)上设有螺纹孔(416)，金属套(412)通过限位螺钉(414)等间距地固定在石英玻璃管(411)上。
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