[实用新型]一种硅片的研磨夹具无效
| 申请号： | 201020581643.7 | 申请日： | 2010-10-28 |
| 公开（公告）号： | CN201856162U | 公开（公告）日： | 2011-06-08 |
| 发明（设计）人： | 聂金根 | 申请（专利权）人： | 镇江市港南电子有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/04 | 分类号： | B24B37/04;B24B41/06 |
| 代理公司： | 上海海颂知识产权代理事务所(普通合伙) 31258 | 代理人： | 季萍 |
| 地址： | 212132 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种硅片的研磨夹具，包括定位夹，夹紧板，夹紧装置，其中，所述夹紧装置包括座体、至少两个弹簧，所述座体固定设置在所述定位夹上，所述弹簧一端固定设置在所述座体上，另一端固定设置在所述夹紧板上，由于所述夹紧装置包括座体、弹簧，夹紧板夹紧硅片后，研磨过程中硅片因震动松动时，夹紧板会在弹簧的推动下，自动调节，避免硅片松开，且本实用新型结构简单。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硅片 研磨 夹具 | ||
【主权项】：
一种硅片的研磨夹具，包括定位夹，夹紧板，夹紧装置，其特征在于，所述夹紧装置包括座体、至少两个弹簧，所述座体固定设置在所述定位夹上，所述弹簧一端固定设置在所述座体上，另一端固定设置在所述夹紧板上。
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