[实用新型]面接触式石英舟

摘要

一种面接触式石英舟，包括石英分隔挡杆、U形侧面连接件、把手、支撑杆和防污挡板，石英分隔挡杆和U形侧面连接件围合成硅片承载框架，在硅片承架的下方设有二根以上底面为平面的支撑杆，在石英分隔挡杆上开设有斜置的硅片卡槽，且其上口设有扩展角；在靠近把手端设有防污挡板。由于将石英舟的支撑脚由点接触改为面接触，支撑杆与碳化桨间为面接触，使得支撑杆的受力更合理，石英舟在使用中不易损坏，延长了使用寿命。防污挡板的设置能减少扩散色差片，提高电池片的成品率。在硅片卡槽的上口设有扩展角，有利于硅片的插入；斜置的硅片卡槽能增加硅片卡槽对硅片的限位面积，更好限定硅片在石英舟中自由度。

主权项

一种面接触式石英舟，其特征是：包括两根水平设置的上石英分隔挡杆(1)、两根水平设置的下石英分隔挡杆(2)、左U形侧面连接件(3)、右U形侧面连接件(4)、把手(5)、支撑杆(6)和防污挡板(7)，两根上石英分隔挡杆(1)的两端分别固定在左U形侧面连接件(3)和右U形侧面连接件(4)上，两根下石英分隔挡杆(2)的两端分别固定在左U形侧面连接件(3)和右U形侧面连接件(4)的下端，在两根下石英分隔挡杆(2)的下方固定有二根以上的支撑杆(6)，支撑杆(6)的底部为平面，且两根上石英分隔挡杆(1)之间的距离与硅片的宽度尺寸相当；在左U形侧面连接件(3)和右U形侧面连接件(4)上都设有把手(5)，在上石英分隔挡杆(1)和下石英分隔挡杆(2)上均开设有硅片卡槽(9)，硅片(8)间隔地插在硅片卡槽(9)中，在靠近把手端各插有一块防污挡板(7)。