[实用新型]读刻号器无效

专利信息
申请号: 201020589785.8 申请日: 2010-11-03
公开(公告)号: CN201927586U 公开(公告)日: 2011-08-10
发明(设计)人: 陈秀龙 申请(专利权)人: 颀中科技(苏州)有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67;H01L21/68
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 215000 江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型公开了一种读刻号器,包括转缺角装置、举片装置和基架,所述缺角装置和举片装置固定在基架上,转缺角装置上的分割片的沟槽位置与举片装置上晶片托上的沟槽位置相对应。由于该读刻号器装有转缺角装置,使用时只需要通过旋转轴带动滚轴旋转即可使晶圆的缺角方向保持一致,并根据需求手动转动至任意方向非常的方便,提高了工作效率;精确的沟槽对应结构,有效避免了对晶圆刮伤。
搜索关键词: 读刻号器
【主权项】:
一种读刻号器,其特征在于包括:转缺角装置,所述转缺角装置包括旋转轴(2)、旋转钮(3)、梳子状的分隔片(4)、滚轴(5),所述旋转钮(3)与分隔片(4)连接,所述旋转钮(3)可带动分隔片(4)可上下摆动,所述旋转轴(2)与滚轴(5)连接,所述旋转轴(2)可带动滚轴(5)上转动;举片装置,所述举片装置包括举片手臂(7)和晶片托(8),所述举片手臂(7)与晶片托(8)连接,所述晶片托(8)上设有数个晶片托沟槽,所述晶片托沟槽的位置与梳子状分隔片(4)的沟槽位置相对应;基架(1),所述转缺角装置和举片装置固定在所述基架(1)上。
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