[实用新型]一种油扩散泵用的带有节流阀的组合冷阱有效
申请号: | 201020597024.7 | 申请日: | 2010-11-09 |
公开(公告)号: | CN201855590U | 公开(公告)日: | 2011-06-08 |
发明(设计)人: | 李志荣;李志方;罗志明;李秋霞 | 申请(专利权)人: | 东莞市汇成真空科技有限公司 |
主分类号: | B01D8/00 | 分类号: | B01D8/00 |
代理公司: | 广州知友专利商标代理有限公司 44104 | 代理人: | 周克佑 |
地址: | 523820 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 一种油扩散泵用的带有节流阀的组合冷阱,包括冷阱体,上法兰和下法兰,其特征在于:所述组合冷阱还包括冷却装置和节流阀,所述下法兰安装在冷阱体的下端,上法兰安装在冷阱体的上端,所述冷却装置和节流阀由下而上依次安装在冷阱体的内部。这种组合冷阱结构紧凑、气阻小并且可以保证镀膜区域气流稳定。 | ||
搜索关键词: | 一种 扩散 带有 节流阀 组合 | ||
【主权项】:
一种油扩散泵用的带有节流阀的组合冷阱,包括冷阱体(1),上法兰(3)和下法兰(2),其特征在于:所述组合冷阱还包括节流阀(13),所述下法兰(2)安装在冷阱体(1)的下端,上法兰(3)安装在冷阱体(1)的上端,所述冷却装置和节流阀(13)由下而上依次安装在冷阱体(1)的内部。
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