[实用新型]一种晶体生长炉的上传动机构

摘要

本实用新型公开了一种半导体行业的晶体生长炉上传动提升机构，包括慢速电机、快速电机、一级减速器、二级减速器、摩擦离合器、同步皮带和提升箱体等部件，一级减速器、摩擦离合器和二级减速器顺序且同轴的组装在一起，慢速电机安装在一级减速器的输入轴上，快速电机的输出轴通过同步皮带与二级减速器的输入轴连接，提升箱体的输入轴通过同步皮带和二级减速器的输出轴连接。本实用新型通过慢速电机和快速电机分别独立工作，使二级减速器输出轴得到两个不同的转速，满足提升机构的快慢速升降操作要求。本实用新型机构结构简单，装配容易，运行稳定。

主权项

一种晶体生长炉的上传动机构，其特征在于：包括底座(1)，提升箱体(2)，同步皮带(3)，二级减速器(4)，摩擦离合器(5)，吸片部分(51)，磁铁部分(52)，同步皮带(6)，快速电机(7)，一级减速器(8)，慢速电机(9)，转轮(10)，转轮(11)，转轮(12)，小机架(13)和转轮(14)，一级减速器、摩擦离合器和二级减速器顺序且同轴的组装在一起，慢速电机安装在一级减速器的输入轴上，快速电机的输出轴通过同步皮带与二级减速器的输入轴连接，提升箱体的输入轴通过同步皮带和二级减速器的输出轴连接。