[实用新型]低偏振相关损耗的光分路器芯片有效

专利信息
申请号: 201020615258.X 申请日: 2010-11-19
公开(公告)号: CN201892759U 公开(公告)日: 2011-07-06
发明(设计)人: 刘勇;尹爽;符建 申请(专利权)人: 杭州天野通信设备有限公司
主分类号: G02B6/125 分类号: G02B6/125
代理公司: 杭州金源通汇专利事务所(普通合伙) 33236 代理人: 唐迅
地址: 311401 浙江*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 实用新型公开了低偏振相关损耗的光分路器芯片,它包括衬底、芯层和上包层,在衬底和芯层之间设有下包层,在芯层上设有光路,上包层在芯层的上方。这种低偏振相关损耗的光分路器芯片实现了大批量生产,通过对器件制造工艺的质量控制和优化,充分保证了刻蚀的垂直度,从而实现了低偏振相关损耗提高产品的合格率,降低生产成本。
搜索关键词: 偏振 相关 损耗 分路 芯片
【主权项】:
一种低偏振相关损耗的光分路器芯片,它包括衬底(1)、芯层(2)和上包层(3),其特征是在衬底(1)和芯层(2)之间设有下包层(4),在芯层(2)上设有光路(5),上包层(3)在芯层(2)的上方(6)。
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