[实用新型]低偏振相关损耗的光分路器芯片有效
申请号: | 201020615258.X | 申请日: | 2010-11-19 |
公开(公告)号: | CN201892759U | 公开(公告)日: | 2011-07-06 |
发明(设计)人: | 刘勇;尹爽;符建 | 申请(专利权)人: | 杭州天野通信设备有限公司 |
主分类号: | G02B6/125 | 分类号: | G02B6/125 |
代理公司: | 杭州金源通汇专利事务所(普通合伙) 33236 | 代理人: | 唐迅 |
地址: | 311401 浙江*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本实用新型公开了低偏振相关损耗的光分路器芯片,它包括衬底、芯层和上包层,在衬底和芯层之间设有下包层,在芯层上设有光路,上包层在芯层的上方。这种低偏振相关损耗的光分路器芯片实现了大批量生产,通过对器件制造工艺的质量控制和优化,充分保证了刻蚀的垂直度,从而实现了低偏振相关损耗提高产品的合格率,降低生产成本。 | ||
搜索关键词: | 偏振 相关 损耗 分路 芯片 | ||
【主权项】:
一种低偏振相关损耗的光分路器芯片,它包括衬底(1)、芯层(2)和上包层(3),其特征是在衬底(1)和芯层(2)之间设有下包层(4),在芯层(2)上设有光路(5),上包层(3)在芯层(2)的上方(6)。
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