[实用新型]电子枪蒸发用坩埚有效
申请号: | 201020617898.4 | 申请日: | 2010-11-22 |
公开(公告)号: | CN201864770U | 公开(公告)日: | 2011-06-15 |
发明(设计)人: | 刘锋;赵志刚 | 申请(专利权)人: | 江苏淘镜有限公司 |
主分类号: | C23C14/30 | 分类号: | C23C14/30 |
代理公司: | 南京知识律师事务所 32207 | 代理人: | 汪旭东 |
地址: | 212331 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 电子枪蒸发用坩埚,包括坩埚(1)和坩埚(3),坩埚(1)设在坩埚(3)的上面,之间为间隙配合,其特征在于:所述的坩埚(1)和坩埚(3)中间放置有镀膜材料(2)。本实用新型,电子枪在工作时,电子束不直接作用于蒸发材料,而靠石墨底座进行传导加热,实现较低蒸发温度材料的蒸发。保证材料本身的性能。 | ||
搜索关键词: | 电子枪 蒸发 坩埚 | ||
【主权项】:
电子枪蒸发用坩埚,包括坩埚(1)和坩埚(3),坩埚(1)设在坩埚(3)的上面,之间为间隙配合,其特征在于:所述的坩埚(1)和坩埚(3)中间放置有镀膜材料(2)。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于江苏淘镜有限公司,未经江苏淘镜有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201020617898.4/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:精梳机
- 下一篇:转炉余热炉裙罩大R弯管装置
- 同类专利
- 专利分类