[实用新型]一种籽晶传动装置无效
申请号: | 201020620977.0 | 申请日: | 2010-11-24 |
公开(公告)号: | CN201933202U | 公开(公告)日: | 2011-08-17 |
发明(设计)人: | 王宏宇;郭东民;黄晓霞;张国栋;佟辉;吕琪;王尧 | 申请(专利权)人: | 中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司 |
主分类号: | C30B35/00 | 分类号: | C30B35/00 |
代理公司: | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002 | 代理人: | 许宗富 |
地址: | 110168 辽*** | 国省代码: | 辽宁;21 |
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摘要: | 一种籽晶传动装置,属于真空设备技术领域。包括籽晶轴、水电连接机构、称重机构、调节平台、丝杠丝母组件和支撑机构,与调节平台固定支架连接的所述丝杠丝母组件设置在支撑机构上,丝杠与第二电机输出轴连接,还包括有与丝杠连接的辅助驱动机构,在断电时可进行手动操作。本实用新型在水电连接机构中,采用了导电滑环及旋转接头并用的结构,实现籽晶杆自转时电、水的连接。在称重机构中采用了膨胀节密封结构,使称重传感器可根据实际样品适当选择量程,使得大气下的称重传感器可精确测量真空内样品的重量。精度调节中采用了双导轨及滑块,使其运动灵活,微分头的使用不但使其操作更加方便且实现了微调,精调。支撑机构采用铝型材机构,可有效的减轻重量,且总体美观。 | ||
搜索关键词: | 一种 籽晶 传动 装置 | ||
【主权项】:
一种籽晶传动装置,包括籽晶轴、水电连接机构、称重机构、调节平台、丝杠丝母组件和支撑机构,与调节平台固定支架连接的所述丝杠丝母组件设置在支撑机构上,丝杠与第二电机输出轴连接,其特征在于:还包括有与丝杠连接的辅助驱动机构。
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