[实用新型]一种用于细管内部溅射镀膜的靶头变径装置有效
| 申请号： | 201020623711.1 | 申请日： | 2010-11-25 |
| 公开（公告）号： | CN201908128U | 公开（公告）日： | 2011-07-27 |
| 发明（设计）人： | 王波;曹小林;杨兴革;董树峰;陈超;党向瑜 | 申请（专利权）人： | 北京滨松光子技术股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100070 北京市丰台区*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种用于细管内部溅射镀膜的靶头变径装置，该装置由延伸阴极(7)、绝缘套(8)、延伸屏蔽套(9)和小靶片(10)组成，延伸阴极(7)由靶片压环(6)压紧固定在常规靶头的阴极上，绝缘套(8)装在延伸阴极(7)外面，延伸屏蔽套(9)由屏蔽罩(3)压紧固定在绝缘套(8)上，小靶片(10)用导电胶粘接在延伸阴极(7)的端面。本实用新型可实现细管内壁和底部的溅射镀膜，溅射镀膜时，所需直径的靶头变径装置可以方便地安装在常规靶头之上，并且安装和更换过程不涉及真空密封结构。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 细管 内部 溅射 镀膜 靶头变径 装置 | ||
【主权项】：
一种用于细管内部溅射镀膜的靶头变径装置，其特征在于：装置由延伸阴极(7)、绝缘套(8)、延伸屏蔽套(9)和小靶片(10)组成，延伸阴极(7)固定在阴极(4)上，绝缘套(8)套装在延伸阴极(7)外面，延伸屏蔽套(9)固定在绝缘套(8)上面，小靶片(10)位于延伸阴极(7)的上端面上。
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