[实用新型]新型太阳能电池镀膜设备有效
| 申请号： | 201020625560.3 | 申请日： | 2010-11-25 |
| 公开（公告）号： | CN201896194U | 公开（公告）日： | 2011-07-13 |
| 发明（设计）人： | 刘晓萌 | 申请（专利权）人： | 刘晓萌 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C16/54 |
| 代理公司： | 北京中恒高博知识产权代理有限公司 11249 | 代理人： | 夏晏平 |
| 地址： | 215600 张家港市经*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了新型太阳能电池镀膜设备，包括依次排列的进片室、反应室和出片室，进片室内设有加热设备和玻璃送取装置；反应室内设有用于镀膜的溅射靶材和加热保温设备；出片室也设有玻璃送取装置；玻璃送取装置为输送螺杆，输送螺杆与玻璃基架滚动连接，玻璃基架用于承载玻璃。本实用新型的优点在于：一次进多片玻璃，重复性高，提高了工作效率，通过螺杆输送玻璃托架，并通过旋转角度来控制步进，光电定位，定位准确，自动化程度高。 | ||
| 搜索关键词： | 新型 太阳能电池 镀膜 设备 | ||
【主权项】：
新型太阳能电池镀膜设备，其特征在于：包括依次排列的进片室、反应室和出片室，所述的进片室内设有加热设备和玻璃送取装置；所述的反应室内设有用于镀膜的溅射靶材和加热保温设备；所述出片室也设有玻璃送取装置；所述的玻璃送取装置为输送螺杆，输送螺杆与玻璃基架滚动连接。
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