[实用新型]电感耦合型等离子体处理装置有效
| 申请号： | 201020627188.X | 申请日： | 2010-11-26 |
| 公开（公告）号： | CN201869431U | 公开（公告）日： | 2011-06-15 |
| 发明（设计）人： | 倪图强 | 申请（专利权）人： | 中微半导体设备（上海）有限公司 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46;H05H1/10 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 骆苏华 |
| 地址： | 201201 上海市浦东新*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种电感耦合型等离子体处理装置，包括：反应腔、电源和设置于所述反应腔顶盖上方的电感耦合线圈，所述电感耦合线圈包括位于所述反应腔顶盖中心区域的中心线圈和环绕在所述中心线圈外围的至少一个外围线圈，所述电源对各线圈分别供电，所述电感耦合型等离子体处理装置还包括设置于所述中心线圈与外围线圈之间的可移动的屏蔽件。本实用新型消除了线圈之间的磁场干扰，改善了等离子体的分布均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 电感 耦合 等离子体 处理 装置 | ||
【主权项】：
一种电感耦合型等离子体处理装置，包括：反应腔、电源和设置于所述反应腔顶盖上方的电感耦合线圈，所述电感耦合线圈包括位于所述反应腔顶盖中心区域的中心线圈和环绕在所述中心线圈外围的至少一个外围线圈，所述电源对各线圈分别供电，其特征在于，所述电感耦合型等离子体处理装置还包括设置于所述中心线圈与外围线圈之间的可移动的屏蔽件。
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