[实用新型]一种晶圆传送机器人手臂机构

摘要

本实用新型涉及一种晶圆传送机器人手臂机构，具体的说是指应用在晶圆传送机器人上的手臂机构。该机构由底座、大臂、导引臂、次大臂、小臂、末端执行器六部分组成，导引臂与末端执行器固连，大臂与底座、次大臂与底座、大臂与导引臂、小臂与导引臂、次大臂与小臂之间通过转动轴连接，形成一个平面五杆并联驱动机构。大臂和次大臂分别由两台伺服电机驱动，两电机只需满足一定的运动关系，即可实现末端执行器的法兰盘中心在其工作空间内的任意直线运动。本实用新型综合了SCARA型与蛙腿型两种手臂机构的优点，该手臂机构不包含同步带、齿轮、钢带等易磨、易损传动件，因此具有较高的洁净度和可靠性，可应用于半导体行业中的晶圆传送机器人。

主权项

一种晶圆传送机器人手臂机构，其特征是，该机构由底座、大臂、导引臂、次大臂、小臂、末端执行器六部分组成，导引臂与末端执行器固连，大臂与底座、次大臂与底座、大臂与导引臂、小臂与导引臂、次大臂与小臂之间通过转动轴连接，形成一个平面五杆并联驱动机构。