[实用新型]真空镀膜装置有效
| 申请号： | 201020634820.3 | 申请日： | 2010-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN201873745U | 公开（公告）日： | 2011-06-22 |
| 发明（设计）人： | 赵芳;任海;魏锋 | 申请（专利权）人： | 四川虹视显示技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/12;H01L51/56 |
| 代理公司： | 成都虹桥专利事务所 51124 | 代理人： | 李顺德 |
| 地址： | 611731 四川*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及蒸镀技术。本实用新型解决了现有真空镀膜装置的有机蒸发舟距离玻璃基板较远而造成薄膜性能不是很好的问题，提供了一种真空镀膜装置，其技术方案为：真空镀膜装置，包括真空腔、支架、掩模板、活动挡板、加热蒸发装置及基板，所述加热蒸发装置包括加热源及有机物蒸发舟，其特征在于，所述加热蒸发装置设置在真空腔内，并固定在真空腔内部下表面，所述加热蒸发装置中的有机物蒸发舟的上方开口与基板相对应。本实用新型的有益效果是，薄膜性能较好，适用于真空镀膜。 | ||
| 搜索关键词： | 真空镀膜 装置 | ||
【主权项】：
真空镀膜装置，包括真空腔、支架、掩模板、活动挡板、加热蒸发装置及基板，所述加热蒸发装置包括加热源及有机物蒸发舟，其特征在于，所述加热蒸发装置设置在真空腔内，并固定在真空腔内部下表面，所述加热蒸发装置中的有机物蒸发舟的上方开口与基板相对应。
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