[实用新型]一种用于静电吸盘边缘保护的保护装置

摘要

本实用新型涉及一种用于静电吸盘边缘保护的保护装置，适用于基片尺寸小于静电吸盘的顶部介电层时，对没有基片覆盖的介电层边缘位置进行保护，包含由聚酰亚胺制成的圆板、圆环或柔性薄膜，并在真空处理腔室外、配合连接到基片外缘，使保护装置与基片的组合被一起放置到介电层上。边缘保护装置还可以是设置在基片底部的聚酰亚胺托护层，或是在静电吸盘上环绕基片设置的芳纶聚焦环。在刻蚀基片的同时，仅能刻蚀到上述保护装置，使其下方的介电层边缘位置得到有效保护，从而减少了静电吸盘的表面损耗，延长其使用寿命，有效节约生产成本。

主权项

一种用于静电吸盘边缘保护的保护装置，其特征在于，所述保护装置整体上呈现中空的环状结构，其接触于基片（40）外边缘，并与所述基片（40）一起覆盖在所述静电吸盘（50）的顶部介电层（51）上；所述保护装置的外径不小于所述介电层（51）的外径。