[实用新型]直线往复输送设备在审
申请号: | 201020636413.6 | 申请日: | 2010-12-01 |
公开(公告)号: | CN201918374U | 公开(公告)日: | 2011-08-03 |
发明(设计)人: | 杨明生;范继良;刘惠森;余超平;王曼媛;王勇 | 申请(专利权)人: | 东莞宏威数码机械有限公司 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677 |
代理公司: | 广州三环专利代理有限公司 44202 | 代理人: | 张艳美;郝传鑫 |
地址: | 523000 广东省东莞市南城*** | 国省代码: | 广东;44 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本实用新型公开一种直线往复输送设备,包括:主体结构及直线往返机构,主体结构包括固定板、电机安装板及电机安装支撑轴,直线往返机构包括电机、偏心轮、旋转轴、移动座及移动轴,移动座的下表面与固定板呈直线滑动连接,移动座的上表面开设有滚动槽,移动轴呈凸伸的安装于移动座上并与固定板平行,电机安装在电机安装板上,电机的输出轴与偏心轮连接,旋转轴的上端与偏心轮连接,旋转轴的下端伸入滚动槽内,电机驱动偏心轮转动,偏心轮的转动通过旋转轴带动移动座在固定板上作直线往复运动,移动座带动移动轴作直线往复运动。本实用新型直线往复输送设备结构简单、维护方便及成本低廉能够广泛应用于半导体行业内。 | ||
搜索关键词: | 直线 往复 输送 设备 | ||
【主权项】:
一种直线往复输送设备,其特征于,包括:主体结构,所述主体结构包括固定板、电机安装板及电机安装支撑轴,所述电机安装支撑轴的一端与所述固定板连接,所述电机安装支撑轴的另一端与所述电机安装板固定连接,所述固定板与所述电机安装板相互平行;直线往返机构,所述直线往返机构包括电机、偏心轮、旋转轴、移动座及移动轴,所述移动座的下表面与所述固定板呈直线滑动连接,所述移动座的上表面开设有滚动槽,所述移动轴呈凸伸的安装于所述移动座上并与所述固定板平行,所述电机安装在所述电机安装板上,所述电机的输出轴与所述偏心轮连接,所述旋转轴的上端与所述偏心轮连接,所述旋转轴的下端伸入所述滚动槽内,所述电机驱动所述偏心轮转动,所述偏心轮的转动通过所述旋转轴带动所述移动座在所述固定板上作直线往复运动,所述移动座带动所述移动轴作直线往复运动。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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