[实用新型]外延设备无效

专利信息
申请号: 201020643268.4 申请日: 2010-12-06
公开(公告)号: CN201942790U 公开(公告)日: 2011-08-24
发明(设计)人: 吕秀正;李尚文;梁文进 申请(专利权)人: 拓志光机电股份有限公司
主分类号: C30B25/14 分类号: C30B25/14;C30B25/10;C30B25/12;H01L21/02
代理公司: 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人: 周长兴
地址: 中国台*** 国省代码: 中国台湾;71
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摘要: 一种外延设备,包括一壳体、贯穿壳体中央位置的中央轴、流体管模块、公转轴套、复数承盘、外齿环、复数行星齿轮及马达。中央轴内部挖设有一轴内空间,流体管模块包括有一外管、穿设外管的三内管及一喷嘴结构,喷嘴结构包括有独立的三喷气孔组、相连通的复数入水孔与出水孔。该三喷气孔组都各环设有复数个喷气孔,且该三喷气孔组对应连通于三内管,入水孔连通外管,出水孔连通中央轴的轴内空间。公转轴套自由转动地套设在中央轴,马达耦接于公转轴套,承盘自由转动地穿设在公转轴套,气体导流通道连通至承盘的承载面并夹一锐角。行星齿轮对应套设在承盘,并啮合于外齿环。
搜索关键词: 外延 设备
【主权项】:
一种外延设备,其特征在于,包括:一壳体,包括有一上壳体、一中壳体及一下壳体,由上而下依序结合;一中央轴,贯穿该壳体的中央位置,以其外侧表面螺合于该下壳体,并于内部挖设有一轴内空间,该中央轴与该上壳体、该中壳体及该下壳体分别界定出一气体导流通道、一中部空间及一下部空间;一流体管模块,包括有一外管、穿设该外管的三内管及一喷嘴结构,该喷嘴结构包括有独立的三喷气孔组、相连通的复数入水孔与出水孔,其中该三喷气孔组都各别环设复数个喷气孔,且该三喷气孔组对应连通于该三内管,该入水孔连通该外管,该出水孔连通该中央轴的该轴内空间;一公转轴套,自由转动地套设在该中央轴;一马达,耦接于该公转轴套;复数承盘,自由转动地穿设在该公转轴套,其中该气体导流通道连通至该承盘的承载面并夹一锐角;一外齿环,固设在该壳体内;以及复数行星齿轮,对应套设在该复数承盘,并啮合于该外齿环。
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