[实用新型]一种单晶炉上炉体无效

专利信息
申请号: 201020653404.8 申请日: 2010-12-11
公开(公告)号: CN201915164U 公开(公告)日: 2011-08-03
发明(设计)人: 査建洪;施宇峰;査如德 申请(专利权)人: 江阴市华英光伏科技有限公司
主分类号: C30B15/00 分类号: C30B15/00
代理公司: 江阴市同盛专利事务所 32210 代理人: 唐纫兰
地址: 214444 江苏省无锡*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型涉及一种单晶炉上炉体,属于单晶硅的生产制造设备领域。它包括上法兰(1)和下法兰(4),其特征在于:上法兰(1)和下法兰(4)之间设置有由外炉壁(5)和内炉壁(7)组成的炉体,所述外炉壁(5)和内炉壁(7)之间设置有水夹层(6),外炉壁(5)上设置有与水夹层(6)相连通的出水口(2)和进水口(3)。本实用新型的一种单晶炉上炉体具有使用寿命长的优点。
搜索关键词: 一种 单晶炉上炉体
【主权项】:
一种单晶炉上炉体,它包括上法兰(1)和下法兰(4),其特征在于:上法兰(1)和下法兰(4)之间设置有由外炉壁(5)和内炉壁(7)组成的炉体,所述外炉壁(5)和内炉壁(7)之间设置有水夹层(6),外炉壁(5)上设置有与水夹层(6)相连通的出水口(2)和进水口(3)。
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