[实用新型]一种用于转移石英舟的工具无效
| 申请号： | 201020653547.9 | 申请日： | 2010-12-10 |
| 公开（公告）号： | CN201877409U | 公开（公告）日： | 2011-06-22 |
| 发明（设计）人： | 王虎;党继东;孟祥熙;辛国军;章灵军 | 申请（专利权）人： | 苏州阿特斯阳光电力科技有限公司;阿特斯（中国）投资有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/673 | 分类号： | H01L21/673;H01L21/67 |
| 代理公司： | 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 | 代理人： | 陶海锋 |
| 地址： | 215129 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于转移石英舟的工具，包括金属杆和金属手柄，所述金属杆上套设有石英套管，还设有连接件，连接件套设于金属手柄上，连接件的一端固定于金属手柄上，另一端与所述石英套管卡固连接。本实用新型避免了金属杆与石英舟直接接触而产生污染；同时也防止了高温石英舟将热量直接传给金属杆而引发的安全隐患，充分考虑了现场的可操作性、安全性和工艺卫生的要求，具有积极的现实意义。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 转移 石英 工具 | ||
【主权项】：
一种用于转移石英舟的工具，包括金属杆(1)和金属手柄(2)，其特征在于：所述金属杆上套设有石英套管(3)，还设有连接件(4)，连接件套设于金属手柄上，连接件的一端固定于金属手柄上，另一端与所述石英套管卡固连接。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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