[实用新型]高度集成的测试腔结构有效
| 申请号： | 201020654402.0 | 申请日： | 2010-12-13 |
| 公开（公告）号： | CN201885742U | 公开（公告）日： | 2011-06-29 |
| 发明（设计）人： | 姜允中 | 申请（专利权）人： | 济南兰光机电技术有限公司 |
| 主分类号： | G01D11/00 | 分类号： | G01D11/00 |
| 代理公司： | 济南圣达知识产权代理有限公司 37221 | 代理人： | 张勇 |
| 地址： | 250031 山东*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种高度集成的测试腔结构，它密封性好，漏点少，占地空间小，结构简单，安装方便。其结构为：它包括一个金属集成块，在金属集成块上设有至少一个测试单元；测试单元包括一个测试腔，试样安装在测试腔上；同时，测试腔还与一对气路孔连通；在至少一个气路孔上设有至少一个流量控制装置；其中至少一个气路孔还与至少一个气路切换装置连接。 | ||
| 搜索关键词： | 高度 集成 测试 结构 | ||
【主权项】：
一种高度集成的测试腔结构，其特征是，它包括一个金属集成块，在金属集成块上设有至少一个测试单元；测试单元包括一个测试腔，试样安装在测试腔上；同时，测试腔还与一对气路孔连通；在至少一个气路孔上设有至少一个流量控制装置；其中至少一个气路孔与至少一个气路切换装置连接。
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