[实用新型]超大产能PECVD设备

摘要

本实用新型所述的超大产能PECVD设备，主要包括硅片、石墨舟、炉体；其中石墨舟为7列，设置于炉体内，硅片设置于石墨舟的槽内；本实用新型所述的超大产能PECVD设备，其石墨舟在原有的基础上增加了1列，炉体的口径和长度也在原来的基础上增大了，同时与之相关的其他外部零件也进行了修改，配备了难于制造的当今最大口径的石英管，在气路设计上也配备了与适应的气路件；本实用新型使太阳能电池片生产的效率得到提高，适应了快速发展的太阳能光伏发电产业的发展。

主权项

一种超大产能PECVD设备，主要包括硅片、石墨舟、炉体，其特征在于所述石墨舟为7列，设置于炉体内，硅片设置于石墨舟的槽内。