[实用新型]用于硅单晶生长的导流筒有效
| 申请号： | 201020655906.4 | 申请日： | 2010-12-13 |
| 公开（公告）号： | CN201901725U | 公开（公告）日： | 2011-07-20 |
| 发明（设计）人： | 李建弘;张雪囡;康冬辉;李烨;董兆清;李翔;徐强;张换新;王林 | 申请（专利权）人： | 天津市环欧半导体材料技术有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00;C30B29/06 |
| 代理公司： | 天津中环专利商标代理有限公司 12105 | 代理人： | 莫琪 |
| 地址： | 300384 天津市南开*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种用于硅单晶生长的导流筒，导流筒为锥形管状体，在其下端口设有一圈与管状体为一体的带有一定角度的圆锥形整流尾翼。带有一定角度的圆锥形整流尾翼的角度为15°—75°，整流尾翼的长度为10mm—80mm。本实用新型的优点是：通过在导流筒底部增加带有一定角度的圆锥形整流尾翼，气流路径变得更加倾斜和集中，如图2。气体经过硅单晶和液面的两次反射之后顺利离开炉室而不存在垂直于熔体表面的反射气流，这样该区域的小颗粒更容易被排除。硅单晶生产的断苞率降低了5-24%。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 硅单晶 生长 导流 | ||
【主权项】：
一种用于硅单晶生长的导流筒，包括导流筒（7），其特征在于：所述导流筒（7）为锥形管状体，在其下端口设有一圈与管状体为一体的带有一定角度的圆锥形整流尾翼（21）。
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