[实用新型]扩散炉尾气压力平衡系统无效
| 申请号： | 201020666034.1 | 申请日： | 2010-12-17 |
| 公开（公告）号： | CN201908156U | 公开（公告）日： | 2011-07-27 |
| 发明（设计）人： | 崔慧敏;陈加朋 | 申请（专利权）人： | 青岛赛瑞达电子科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B31/18 | 分类号： | C30B31/18 |
| 代理公司： | 山东清泰律师事务所 37222 | 代理人： | 宁燕 |
| 地址： | 266000 山东省青岛市高*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型所述的扩散炉尾气压力平衡系统，主要包括真空反应室、压力传感器、信号线、PLC控制器、电磁阀、电磁阀后端管道、真空泵、电磁阀前端管道；其中真空反应室与电磁阀前端管道相连，电磁阀设置在电磁阀前端管道与电磁阀后端管道之间，电磁阀后端管道与真空泵相连；压力传感器设置在电磁阀前端管道上，压力传感器通过信号线与PLC控制器相连，PLC控制器通过信号线与电磁阀相连；本实用新型的优点在于方便、快捷、准确、高效、节约成本且对反应室内气压进行自动控制。 | ||
| 搜索关键词： | 扩散 尾气 压力 平衡 系统 | ||
【主权项】：
一种扩散炉尾气压力平衡系统，其特征在于它主要包括真空反应室、压力传感器、信号线、PLC控制器、电磁阀、电磁阀后端管道、真空泵、电磁阀前端管道；其中真空反应室与电磁阀前端管道相连，电磁阀设置在电磁阀前端管道与电磁阀后端管道之间，电磁阀后端管道与真空泵相连；压力传感器设置在电磁阀前端管道上，压力传感器通过信号线与PLC控制器相连，PLC控制器通过信号线与电磁阀相连。
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