[实用新型]一种直拉单晶炉坩埚旋转与升降机构无效

专利信息
申请号: 201020666409.4 申请日: 2010-12-18
公开(公告)号: CN201942788U 公开(公告)日: 2011-08-24
发明(设计)人: 査建洪;施宇峰;査如德 申请(专利权)人: 江阴市华英光伏科技有限公司
主分类号: C30B15/30 分类号: C30B15/30
代理公司: 江阴市同盛专利事务所 32210 代理人: 唐纫兰
地址: 214444 江苏省无锡*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型涉及一种直拉单晶炉坩埚旋转与升降机构,属于单晶硅的生产制造设备领域。它包括坩埚旋转机构和坩埚升降机构,所述坩埚升降机构包括坩埚支架(3)和支架(15),所述支架(15)上竖直设置有丝杠(17)和导轨(18),所述导轨(18)上设置有滑块(1),所述丝杠(17)下端与蜗轮减速器(10)输出端相连接,所述蜗轮减速器(10)采用双输入轴的方式,蜗轮减速器(10)的一个输入轴依次连接有离合器(11)、谐波减速器(12)和电机II(13),蜗轮减速器(10)的另一个输入轴连接有手轮(9),所述坩埚旋转机构包括旋转支架(6),旋转支架(6)上设置有电机I(4),所述电机I(4)通过行星减速器(5)与带轮机构(7)与坩埚轴(8)相连接,旋转支架(6)通过螺栓(20)与坩埚支架(3)连接。
搜索关键词: 一种 直拉单晶炉 坩埚 旋转 升降 机构
【主权项】:
一种直拉单晶炉坩埚旋转与升降机构,其特征在于:它包括坩埚旋转机构和坩埚升降机构,所述坩埚升降机构包括坩埚支架(3)和支架(15),所述坩埚支架(3)上设置有坩埚轴承座(2),所述坩埚轴承座(2)设置有坩埚轴(8),所述支架(15)上竖直设置有丝杠(17)和导轨(18),所述导轨(18)上设置有滑块(1),导轨(18)顶部设置有挡板(16),坩埚支架(3)和滑块(1)通过连接块(19)和螺栓(20)连接在一起,所述丝杠(17)下端与蜗轮减速器(10)输出端相连接,蜗轮减速器(10)下方设置有底座(14),所述蜗轮减速器(10)采用双输入轴的方式,蜗轮减速器(10)的一个输入轴依次连接有离合器(11)、谐波减速器(12)和电机II(13),蜗轮减速器(10)的另一个输入轴连接有手轮(9),所述坩埚旋转机构包括旋转支架(6),旋转支架(6)上设置有电机I(4),所述电机I(4)下方连接有行星减速器(5),行星减速器(5)与坩埚轴(8)之间设置有带轮机构(7),旋转支架(6)通过螺栓(20)与坩埚支架(3)连接。
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