[实用新型]一种适用于多尺寸晶圆的喷砂用载具

摘要

本实用新型的目的是提供一种适用于多尺寸晶圆的喷砂用载具，使用该载具加工产品时，晶圆被放置在一个承载平面上，在晶圆的周围是有一定深度的限位立面，让晶圆保持在固定位置，不会偏出抓取晶圆的机械手可以正常运行的工作位置。在更换产品尺寸的时候，不需要对载体进行调整，立即可以转换加工另一种尺寸的晶圆。本实用新型的优点是：将只能加工一种尺寸晶圆的传统载体在垂直空间上进行重新组合，可以适用与三个不同尺寸的晶圆。载体通过螺丝与传送带托板固定在一起，在更换产品尺寸时不需要更换载体，可以连续加工生产，提高了生产效率，由于不需要经常更换载体，减少了载体磨损，减低了工装维护成本，降低了因为载体损坏而导致的产品损失的风险。

主权项

一种适用于多尺寸晶圆喷砂用载具，其特征在于：它包括多个台阶式同心圆，每个台阶用于承载一枚相应尺寸的硅片，每个台阶有一个承载晶圆的承载平面，台阶的高度为限制晶圆滑动的立面，同心圆圆心与机械手吸盘中心位置重合；载体最下层有一用于安装固定载体的安装平面，安装平面上设有定位孔和用来与传送带上的托板连接固定的安装孔。