[实用新型]一种基板玻璃厚度在线测量仪

摘要

一种基板玻璃厚度在线测量仪，确保激光测量方式在基板玻璃在线测量的实现、并能达到μm级的检测精度，从而满足对产品的表面质量、光学特性、厚度公差、平整度、应力指标的要求；同时对MCV连续输送线上的每一片基板玻璃进行在线厚度测量，并将测量数据通过计算机网络实时发送至前工程成型控制工段，及时调整各相关控制参数稳定基板玻璃的厚度及玻璃板面的厚薄差。它是由：测厚仪框架，测厚仪主控制柜，显示器，工控机主机，键盘鼠标，状态指示灯，操作按钮，MCV运载小车，被测基板玻璃，基板稳定夹持装置，激光测量装置，激光探头安装及调节装置，激光探头运动装置，测厚仪可调节防震地脚，BOD工段MCV输送线构成。

主权项

一种基板玻璃厚度在线测量仪，是由：测厚仪框架(1)，测厚仪主控制柜(2)，显示器(3)，工控机主机(4)，键盘鼠标(5)，状态指示灯(6)，操作按钮(7)，MCV运载小车(8)，被测基板玻璃(9)，基板稳定夹持装置(10)，激光测量装置(11)，激光探头安装及调节装置(12)，激光探头运动装置(13)，测厚仪可调节防震地脚(14)，BOD工段MCV 输送线(15)构成，其特征在于：测厚仪框架(1)一侧设置测厚仪主控制柜(2)，测厚仪主控制柜(2)上部设置显示器(3)，显示器(3)上方设置状态指示灯(6)，显示器(3)两侧设置操作按钮(7)，显示器(3)下方设置工控机主机(4)，工控机主机(4)下方设置键盘鼠标(5)。