[实用新型]用于制备粒状多晶硅的流化床反应器在审
申请号: | 201020677636.7 | 申请日: | 2010-12-24 |
公开(公告)号: | CN202007139U | 公开(公告)日: | 2011-10-12 |
发明(设计)人: | 陈其国 | 申请(专利权)人: | 江苏中能硅业科技发展有限公司 |
主分类号: | C01B33/027 | 分类号: | C01B33/027;C01B33/035 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 221004 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种用于制备粒状多晶硅的流化床反应器,由扩大段,直筒段、下锥体、气体分布器、籽晶进料管、尾气出料管、含硅气体进料管、流化气体出料管和粒状多晶硅出口组成。在下椎体上方有安置有加热装置,含硅气体中的硅在加热装置的区域内或加热装置区域上方有效地被还原并沉积在籽晶上生成多晶硅,在加热装置上部、直筒段上部、扩大段顶部有超声装置,以消除或减小流化床中的气泡。 | ||
搜索关键词: | 用于 制备 粒状 多晶 流化床 反应器 | ||
【主权项】:
一种用于制备粒状多晶硅的流化床反应器,该反应器由扩大段,直筒段、下锥体、气体分布器、籽晶进料管、尾气出料管、含硅气体进料管、流化气体出料管和粒状多晶硅出口组成。在下椎体上方有加热装置,含硅气体中的硅在加热装置的区域内或加热装置区域上部有效地被还原并沉积在籽晶上生成多晶硅,其特征在于至少在加热装置上部、和/或直筒段上部、和/或扩大段顶部设有超声装置,以消除或减小流化床中的气泡。
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