[实用新型]一种多晶硅还原炉有效

专利信息
申请号: 201020678819.0 申请日: 2010-12-24
公开(公告)号: CN201962072U 公开(公告)日: 2011-09-07
发明(设计)人: 陈其国;钟真武;吴峰 申请(专利权)人: 中科协鑫(苏州)工业研究院有限公司
主分类号: C01B33/021 分类号: C01B33/021
代理公司: 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 代理人: 肖明芳
地址: 215000 江苏省苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型公开了一种多晶硅还原炉,包括炉筒,所述炉筒包括外壁、内壁以及内壁和外壁之间的中空部分;所谓底盘位于炉筒下方与炉筒固定连接;所述底盘上设有与炉筒连通的底盘尾气排出口,底盘尾气排出口连接所述尾气排出管;所述原料气进气管穿过所述底盘与炉筒连通;所述硅芯位于炉筒内部,硅芯下方连接电极;所述还原炉炉筒冷却水出水口位于炉筒的顶部,还原炉炉筒冷却水进水口位于炉筒侧面的下方,且还原炉炉筒冷却水出水口和还原炉炉筒冷却水进水口分别和所述中空部分连通。使用本实用新型所述的一种多晶硅还原炉,可以有效的降低还原过程中的热量损失,降低多晶硅还原直接电耗30%以上,有效降低多晶硅的单位生产成本。
搜索关键词: 一种 多晶 还原
【主权项】:
一种多晶硅还原炉,其特征在于,包括炉筒(3)、还原炉炉筒冷却水出水口(1)、还原炉炉筒冷却水进水口(4)、尾气排出管(8)、硅芯、电极(11)、底盘(12)、原料气进气管(15);所述炉筒包括外壁、内壁以及内壁和外壁之间的中空部分;所谓底盘位于炉筒下方与炉筒固定连接;所述底盘上设有与炉筒连通的底盘尾气排出口(5),底盘尾气排出口连接所述尾气排出管(8);所述原料气进气管穿过所述底盘与炉筒连通;所述硅芯位于炉筒内部,硅芯下方连接所述电极;所述还原炉炉筒冷却水出水口位于炉筒的顶部,还原炉炉筒冷却水进水口位于炉筒侧面的下方,且还原炉炉筒冷却水出水口和还原炉炉筒冷却水进水口分别和所述中空部分连通;所述炉筒的内壁内侧设有低辐射系数的含锆层或含钛层。
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